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电感耦合等离子体光谱仪开机前检是维护和保养是保持光谱分析仪性能良好和硬件完好的关键。测定前操作者必须做好合理的安排，实现安排好各项准备工作，切忌在同一段时间里对光谱分析仪主机开开停停，仪器频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候，瞬间电流大大高于运行正常时的电流，瞬间的脉冲冲击，容易造成功率管灯丝断丝，碰极短路及过早老化等，用量能否连续工作。
一般氩气的储量至少一个满瓶以上才可以开机，检查氩气净化机工作状态是否正常，如果不正�；蛘卟荒芄ぷ鳎砩细桓叽慷入�(99.999%);然后首先开启氩气净化机，打开氩气，检查仪器气体系统工作是否正常，将氩气出口压力调在(0.45~0.6)MPA之间。
检查循环水机的连接管路是否有泄漏，检查循环水机的电源连接是否正常，检查循环水机内循环液的液面是否在线上;在正常情况下，推荐半年更换循环液。循环水机的出水压力应为(0.31!0.55)MPa。
有的水平(轴向)观测光谱分析仪需要用空压机切割尾焰，还要检查压缩机的工作状态气压是否在0.6MPa，检查完毕状态正常后开启循环冷却水和空气压缩机，打开稳压电源，检查稳压电源是否欠压工作，如果电压正常在1min后打开主电源开关，否则要等稳压电源稳定在打开光谱分析仪主机电源;如果打开主机电源后出现指示灯不亮和接触器不吸合等现象，可检查机内电源箱侧面1A和5A的熔丝是否烧坏;打开主机电源后光学恒温系统(FPA)开始升温，新型号光谱分析仪的预热时间一般在30min左右就可以达到恒温状态，老型号的仪器大约需要(2~3)h。
然后依次打开计算机主机、显示器和打印机，进入操作系统，打开循环水开关;如果选择波长为190nm以下的谱线，还需要打开多色器对检测器进行吹扫。特别注意，先打开氩气，再打开稳压电源，最后打开主机电源，顺序千万不能颠倒。
