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1、这要从ICP光谱仪形成的等离子体过程去分析，一般来说，点火时设备提供的功率最大，可以保证Ar的电离充分从而有助于形成等离子体火炬，但正常工作时，设备的功率一般都是最大功率的80%左右，而且为了保证输出功率的稳定性，都加了功率反馈，这样在测试过程中，进样的溶液如果不均匀或有空气进入，可能会局部加电离，因为等离子体与高压方面是通过线圈耦合的，这样等离子体电流加大，将影响功率调节，功率调节将出现误判，通过反馈，自动降低输出功率，因为溶液只是一时现象，而功率的调节确是实时的，当将功率调小以后，而溶液确恢复正常，此时因Ar气电离成分不够，不能维持等离子体，从而熄火，因此在熄火后须及时关高压，否则容易出问题。
2. 光源电路工作不稳定，电路的温度参数问题，下次开机前先想办法把光源部分预热以下。
3. 简单说就是由于等离子和高压耦合，所以任何使等离子体不稳定的因素（包括试样不均匀等）就会熄火。